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EBARA荏原ESP-7型壓力傳感器
產品型號:ESP-7
產品品牌:EBARA 荏原計器制作所
產品簡介: ESP-7型壓力傳感器是使用擴散型半導體的高性能傳感器,檢測單元的信號通過內部放大電路放大,并在調整期間轉換為4至20 mA,然后再發(fā)送。

EBARA荏原ESP-7型壓力傳感器

■  特點

由于使用了擴散型半導體傳感器,因此具有的可靠性和耐用性。

受壓部使用SUS316L不銹鋼。

即使在50kPa或更低的低壓下也具有的穩(wěn)定性。

除空氣,水,油等外,它還可用于多種測量。

我們主要生產ESP-7型傳感器,并生產多種應用產品,例如隔膜型和衛(wèi)生型,適合食品,化學藥品和制藥等各種應用

壓力傳感器的內部結構

 

 

 

 

 

工作原理

 

工作原理

流體壓力首先由不銹鋼隔膜1接收。

壓力通過封閉在內部的硅油(2)傳輸?shù)?/span>擴散型半導體傳感器,而不會造成壓力損失

在擴散型半導體壓力傳感器中,將硅基板⑥接合至玻璃臺架⑨,并且將其中央部蝕刻成薄的隔膜形狀。

傳遞的壓力使隔膜變形,并改變上部形成的壓電電阻計⑦。

壓電電阻計由小電流驅動,并通過焊線⑤輸出與壓力成比例的電信號

電信號由內部電路板的放大電路部分放大,并作為由調節(jié)器調節(jié)的信號輸出,作為4至20 mA的電流輸出或1至5V的電壓輸出。

由于擴散型半導體壓力傳感器會因溫度變化而導致輸出變化較大,因此我們的壓力傳感器會根據(jù)其各自的特性進行溫度補償。 

 

 

 

傳感器內部結構

 

 

 

 

 

壓力單位對照表

 

壓力單位對照表 

 

 

 

SI單位/舊單位指南/壓力類型

 

SI單位/舊單位指南/壓力類型


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