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日本進口simco思美高局部清潔靜電消除離子發生器 QuadBar 型號 4635
日本進口simco思美高局部清潔靜電消除離子發生器 QuadBar 型號 4635
4635 型四桿離子發生器是一款高度清潔的離子發生器,進一步改進了傳統型號 4630/4632,以提高靜電消除性能和易用性。適用于光罩等有限空間和氣流環境下的靜電消除。特征采用獨創的IsoStat方法的離子平衡自動調節。無需調節工作電源支持24V DC和24V AC單晶硅電極,對半導體器件具有高度清潔和安全性全新設計的吹掃氣流路徑,實現長距離、高速靜電消除。
離子發生方式 | 電暈放電方式 穩態直流方式 |
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電極 | 單晶硅(可更換) |
清潔度 | ISO 1 級(24V 直流) ISO 2 級(24V 交流) |
相應的吹掃氣體 | 清潔干燥空氣和N2 |
空氣連接 | 4mm內徑管 |
空氣流動 | ~25LPM |
輸入電壓 | 24V AC +/-5%,50/60hz,0.1A(典型值) 24V DC +/-5% 0.025A(典型值) |
靜電消除時間 | <15秒,30厘米距離,15LPM空氣吹掃 (標準濾芯) <6秒,30厘米距離,15LPM空氣吹掃 (噴射跨通道墨盒) |
離子平衡 | +/-20v 15cm 距離 |
可連接數量 | 使用 14-1535 變壓器時多 4 個單元 使用 4030 控制器時多 15 個單元 |
尺寸 | 33mm 高 x 33mm 寬 x 91mm 長 (不包括空氣連接) |
重量 | 108克 |