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日本進口愛發科ULVAC螺桿式干式真空泵MS120A
產品型號:MS120A
產品品牌:日本愛發科ulvac
產品簡介: MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵,在傳統LS系列 的基礎上,作為耐腐蝕型,提升了耐粉塵排氣性能,是針對使用腐蝕性氣體和粉塵排氣工藝而設計的機型。 特征 對轉子軸、氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,提高耐腐蝕性能 采用ULVAC獨特設計的轉子軸,實現高性能排粉 實現接近大氣壓的連續抽氣 應用 半導體和電子設備制造設備的真空系統,用于 蝕刻、灰化、等離子清洗等。 燒結、滲碳等爐的真空系統。鋰離子電池制造設備的真空系統電極干燥、脫氣、真空注射等。醫療和食品用真空系統冷凍干燥、真空干燥等。

日本進口愛發科ULVAC螺桿式干式真空泵MS120A

模型MS120AMS600AMS1200A
抽氣速度*1立方米/小時115560980
極限壓力≦0.6≦0.1
電源200V級:3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級:3相, 50/60Hz, AC380-480V±10%
功耗*2千瓦2.43.13.1
冷卻水流量升/分鐘>4.0
吹掃氣體流量*1空間光調制器0~50
耐水蒸氣性*1*3公斤/小時1.5
噪音 *2分貝(聲級)616264
進氣口KF50(臥式) / VG50(立式)ISO-F-80ISO-F-100
出水口KF40
重量 *4公斤139241264
適用標準CE、cTUVus
標準附件快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護罩、消音器
泵頭選項電源:200V級或400V級
密封材質:FKM或FFKM
外部選項包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元(入口、遠程)、吹掃氣閥

*1:參考值
*2:極限壓力(僅供參考)
*3:水蒸氣耐受量為使用吹掃氣體時的值。
*4:包括消音器


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