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日本進(jìn)口ulvac愛發(fā)科UR600多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號：UR600
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
均勻高溫分布泵HR 系列泵設(shè)計用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線和/或加熱排氣管線的應(yīng)用UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。卓越的氦氣泵送能力，封閉式電機，安全且易于維護(hù)。電源故障保護(hù)泵可承受長達(dá) 1000 毫秒的電源中斷。卓越的耐腐蝕性內(nèi)部組件經(jīng)過特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內(nèi)部零件在暴露于腐蝕性氣體時發(fā)生磨損和腐蝕。通訊功能可以導(dǎo)出包括警告和警報在內(nèi)的泵數(shù)據(jù)。可進(jìn)行廣泛的泵控制。
日本進(jìn)口ulvac愛發(fā)科UR600多級羅茨干式真空泵
高溫分布均勻。可將CVD、蝕刻工序產(chǎn)生的升華物以氣態(tài)排出。
均勻高溫分布泵 的氦氣泵送能力， 電源故障保護(hù) 的耐腐蝕性 通訊功能特征
HR 系列泵設(shè)計用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線和/或加熱排氣管線的應(yīng)用
UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。
封閉式電機，安全且易于維護(hù)。
泵可承受長達(dá) 1000 毫秒的電源中斷。
內(nèi)部組件經(jīng)過特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內(nèi)部零件在暴露于腐蝕性氣體時發(fā)生磨損和腐蝕。
可以導(dǎo)出包括警告和警報在內(nèi)的泵數(shù)據(jù)?？蛇M(jìn)行廣泛的泵控制。
CVD 設(shè)備 蝕刻設(shè)備 灰化設(shè)備 ALD、ALH等應(yīng)用
UR421-T 5.0帕 VG80(NW80) VG100(NW100) VG150(NW100) VG150 NW40 NW50 *1：UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT 均應(yīng)在 200Pa (1.5 Torr) 以下運行。規(guī)格
模型 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT 泵 決策支持系統(tǒng) UR90 UR90 UR180 UR421-T 骨髓移植 - PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C-T
抽
速50赫茲 410 立方米/小時
（6833 升/分鐘）653 立方米/小時
（10883 升/分鐘）1012 立方米/小時
(16867 升/分鐘)1701 立方米/小時
（28350 升/分鐘）2700 立方米/小時
（45000 升/分鐘）極限壓力 入口壓力 大氣壓*1 排氣壓力 1.0至大氣壓Pa 入口直徑（CE型） VG100 出口直徑 VG50 重量 415公斤 370公斤 403公斤 553公斤 720 公斤 力量 三相 180～240VAC/
380～440VAC
（50/60赫茲）200 VAC（50/60 赫茲）/220 VAC（60 赫茲） 180～240VAC/
380～440VAC
（50/60赫茲）當(dāng)前的 在極限壓力下 23 A（200V 時） 16.4A（200V 時） 18.9 A（200 V 時） 29.2 安培（200 伏時）
20.5 安培（400 伏時）39.8 A（200V 時）
20.5 A（400V 時）
負(fù)載時52.5A（200V 時） 17.3 A（200V 時） 22.4 A（200 V 時） 34.9 安培（200 伏時）
40.5 安培（400 伏時）68.3 安培（200 伏時）
40.5 安培（400 伏時）冷卻水
供給壓力0.2~0.5兆帕 0.1~0.3兆帕 0.2~0.5兆帕 冷卻水進(jìn)/
出壓差>0.2兆帕 >0.1兆帕 >0.1兆帕 >0.1兆帕 >0.2兆帕 冷卻水流量 >5.0 升/分鐘 氮氣 供給
壓力0.1~0.5兆帕
壓力調(diào)節(jié)0.05~0.1MPa N2 吹掃 軸吹掃 5 級 氣鎮(zhèn)流器 0~195 秒 0~45秒 0~195 秒 0~195 秒
* 如果您需要此規(guī)格列表中未列出的 UR 系列，請與我們聯(lián)系。
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