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日本ulvac進口渦旋式干式真空泵 DIS?DISL 系列 DIS-90
產(chǎn)品型號：DIS-90
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
特征
體積小、排量大。
干式真空泵的最高極限壓力水平。
內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護器的安全設(shè)計。
通過空氣沖洗抑制水分凝結(jié)。
應(yīng)用
分析設(shè)備。
氣體回收系統(tǒng)。
涂裝設(shè)備。
TMP 的后泵。
氦氣泄漏檢測儀。
半導(dǎo)體的制造工藝。
日本ulvac進口渦旋式干式真空泵 DIS?DISL 系列 DIS-90
| 單元50赫茲60赫茲實際抽速※1升/分鐘90108極限壓力帕（千帕）5.0馬達※2 單相，100/115/200/230V，150W，4P 電容啟動/運行滿載電流A2.6/1.3/1.6(100/200/230伏)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230伏)重量公斤14.0入口法蘭 KF-25出口管徑 KF-16環(huán)境溫度℃5～40水汽處理克/天≦5 以下（AFopen ※3、室溫25℃、濕度60％以下）噪音水平D b≦52 （AF開啟※3 , ≦57）外形尺寸毫米214(寬)×308(長)×225(高) |
※1：實際排氣速度約為吸入大氣壓氣體時的實際排氣速度的1.2倍。
※2：不附帶電源插頭、電源電線。
※3：AF＝Air flush空氣沖洗操作不僅能排出泵內(nèi)殘留的水，而且還有恢復(fù)極限壓力的效果。
對應(yīng)儀式／電壓
| 模型適用標準※ＣＥ確認聲明1φ100V系列1φ200V系列3φ200V系列3φ400V系列DIS-90紫外線●●(可通過更換端子板進行切換)－－ |
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