服務(wù)熱線
400-850-5208
產(chǎn)品中心
Products
產(chǎn)品展示PRODUCTS
ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 低溫U8HSP 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：U8HSP
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
CRYO-U系列是使用2級GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。
特征適用于濺射工藝。氬氣置換量約為傳統(tǒng)型號（U8H）的2.5倍。氫氣排氣率提高至傳統(tǒng)型號（U8H）的約1.2倍。播放間隔變得更長，有助于提高設(shè)備的可用性。多臺操作（最多 3 臺）規(guī)格