日本ulvac進(jìn)口低溫泵愛發(fā)科CRYO-U16P
產(chǎn)品型號(hào):CRYO-U16P
產(chǎn)品品牌:日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
CRYO-U系列是使用2級(jí)GM制冷機(jī)的低溫泵,可進(jìn)行高真空排??氣。
根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途,有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。
特征適用于中、大型設(shè)備。CRYO-U16 的高負(fù)載版本。