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日本進口愛發(fā)科渦輪分子泵 UTM-MI
產品型號: UTM-MI
產品品牌:日本愛發(fā)科ulvac
產品簡介: 特征 控制器與泵體集成在一起 泵體和控制器之間無需接線。 自由安裝方向 自由安裝方向使系統(tǒng)設計更加靈活。 適用于輕工業(yè)過程的寬范圍和高流量。 泵旋轉角度可在 25% 至 100% 之間調節(jié), 通過改變旋轉速度可以調節(jié)腔內的壓力。 高耐久性、安全性 通過了空氣沖入試驗、接地試驗等安全確認試驗。 應用

日本進口愛發(fā)科渦輪分子泵 UTM-MI

模型UTM1200AUTM1600AUTM2300AUTM3400A
進氣口威格士
150
ISO
160F
維他命
200
威格士
250
ISO
200F
ISO
250F
威格士
250
ISO
250F
維珍
300
威格士
350
ISO
320F
出水口KF40
極限壓力
*1
10 -7帕斯卡
抽氣
速度
*2*3
氮氣1030 升/秒1400 升/秒2100 升/秒3200 升/秒
應收賬980 升/秒1330 升/秒2000 升/秒3100 升/秒
氫氣660 升/秒750 升/秒1380 升/秒2100 升/秒
壓縮

氮氣2×10 8≧ 1×10 8≧ 1×10 9
7×10 35×10 31×10 5
氫氣8×10 29×10 26×10 3
入口
壓力*4
二十六 帕4.5帕七 帕
出口
壓力*4
266 帕200帕270帕
旋轉速度37200 分鐘-133700 分鐘-127600 分鐘-1
速度變化轉速在額定轉速的25%~之間可調(設定為0.1%)
啟動時間≦8分鐘≦9分鐘≦16分鐘
安裝
位置
朝任意方向
表面
處理*5
沒有任何
溝通
接觸D-sub 25針母頭觸點輸入和輸出信號D-sub 37針母頭 觸點輸入和輸出信號
串行串行連接器 RS232C/RS485D-sub 9 針公頭 RS232C/RS485
控制器作品
帶集成控制器的泵
輸入

功率
單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz)

功率
0.75千伏安1.2千伏安
冷卻方式水冷
冷卻
水*6
流速
3~4升/分鐘
壓力0.2~0.4MPa壓力
噪音57 分貝(A)60 分貝(A)
重量43公斤41公斤56公斤94公斤
推薦
前級泵 *7
≧ 600升/分鐘≧ 1500升/分鐘
適用標準CE、TUV
標準配件O型圈(僅限VG)、防塵蓋(出氣口)、遙控器接口、使用說明書(CD-ROM) 
選擇
零件
交流電纜AC連接器/AC電纜(5m/10m/15m/20m)
固定專用
螺栓

M10/ M12

固定泵專用螺栓
需(M10) *8不需要*8
選項氣體吹掃適配器(KF10)

*表示1位數(shù)字。
*2無保護網。
*3計算值:UTM2300A和UTM3400A 
*4入口壓力和出口壓力不能同時滿足。
*5不要流動反應性氣體和腐蝕性氣體。使用其他氣體時請與我們聯(lián)系。
*6不凝結 
*7抽真空時30SCCM 
*8螺栓等級,固定方法等受各種條件限制。請聯(lián)系
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