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愛分科離子泵 PST系列控制器 GST-07L-B 愛發科
產品型號:GST-07L-B
產品品牌:日本愛發科ulvac
產品簡介: GST-07L-B是一款功能先進、可靠性高的濺射離子泵控制器,是ULVAC在超高真空領域積累的豐富技術儲備和長期實踐經驗的結晶。 特征 體積小、重量輕通過CPU實現多功能性能使用一個控制器即可控制所有濺射離子泵(PST系列) 標準配備的通信功能通過標準配備的外部通信控制功能,可以實現遠程控制和自動化操作。 通過自動啟動電路和軟啟動功能,可將支持 XHV 的泵電池污染降至最低。(- 專利號 1340297 等正在申請中) 提高安全功能控制器具有防止功能開關誤操作的功能和保護聯鎖功能。使用耐熱耐寒性優良、電氣特性優異的氟樹脂高壓電纜。支持《電氣電子設備中限制使用某些有害物質指令》(RoHS 指令)支持 CE 標志 應用

愛分科離子泵 PST系列控制器 GST-07L-B 愛發科

可連接泵Actor 泵(PST 系列所有型號)
運營壓力10 -2 至 10 -4 Pa 或更低
顯示范圍顯示方式數字顯示(7段LED)
顯示內容
a)輸出電流顯示自動選擇2個量程:mA、μA(線性顯示)
b)輸出電壓顯示0.0 至 7.5 kV (H 或 L)(1 量程線性顯示)
c)壓力顯示Pa、mbr
(1×10 -8~1×10 -2 Pa)
(1×10 -10~ 1×10 -4 mbar)
輸出釋放電壓DC+7.5kV
(2 點,高和低,可使用前面板開關選擇;
高/低壓設置可使用微調器在約 1.0 至 7.5kV 范圍內調節)
輸出電流小于DC31mA
輸入電壓/電流AC100~115V±10% ? 50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ? 50/60Hz~1.5A
MONITOR端子輸出信號信號輸出與 7 段面板顯示成比例,
每個范圍為 DC 0 至 10V 滿量程,超過 100kΩ
壓力設定點2 分
遠程/本地可通過面板開關選擇
外部控制功能配備各種輸入/輸出功能
(配備 REMOTE 連接器)(遠程、RS-232C 通信控制)
保護功能錯誤顯示/提供各種保護功能
高壓(HV)輸出關閉 ERR 0 至 5 亮
啟動保護定時器設置(1 至 255 分鐘可調)
斷電后自動保留(HV 保持開關操作)
環境工作條件溫度0~40℃
濕度小于85%(無結露)
配件輸出電纜(5m)、輸入電纜(3m)
重量主機:約4kg,電纜:約1.0kg(標準)
尺寸(寬 x 高 x 深)240 x 99 x 370 毫米 {200 x 99 x 370 毫米(不包括機架安裝支架)}


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